CS-1 晶片內位錯檢測儀產品介紹
"Crystalline Tester CS1"是非破壞性、非接觸式檢測可見光（波長400～800nm）透明性晶體材料中由于殘留的缺陷、應力引起的晶格畸變后分布情況的便捷式檢測設備。通過本設備可以實現快速、準確地把握目檢下無法看到的晶體晶格畸變的狀態。
產品特征
產品特長 | 高速測量（6" 襯底 90秒）
?可以最快速度簡捷方式觀察殘留應力分布。
縱向結晶評價
?因為是透視型結晶評價裝置，所以不只可以觀察襯底表面，還可以觀察包括Z軸方向的晶圓所有部位。 可取得與X-Ray Topography imaging comparison同等測試效果
?可以取得同等測試效果，實現高速低成本。
價格競爭力
?在晶片測量裝置中，屬于性價比好的一款系統。
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可測量材料 | SiC單晶襯底、及SiC外延襯底 GaN單晶襯底、及GaN外延襯底 AlN單晶襯底、及AlN外延襯底 可視光可透視、有雙折射效果的結晶均可。
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測試效果不佳材料 | ?無可視光透視性材料：Si、GaAs等
?無雙折射效果材料：藍寶石、Ga2O3 等 |
