簡易型微量金屬污染物采樣設備（SC系列）
SC-3100
●通過與計算機聯機，可選擇豐富多樣的采樣模式，對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
●因為不太需要外部資源，也不太占地方，易于導入。
●采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-2000相比，可以減少由操作員引起的污染。
SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態、采樣液種類的要求不苛刻，另外，還可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行傳統的憎水采樣操作。
SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進行采樣的功能、對于硅材質以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態，以及采樣液種類的采樣限制，本設備有所突破，另外，也可以對非重金屬離子進行采樣。
●當然，也可以進行常規的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設備自動操作，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染。
| 設備名稱 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
| 操作控制 | 電腦(※3) | |||||||||
| 支架具的裝/卸 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
| 采樣液的供給 | 自動 | 手動 | 自動 | |||||||
| 采樣液的回收 | 自動(※1) | 手動 | 自動 | |||||||
| 采樣基本模式 | 圓環形、扇形、固定半徑、圓弧 | |||||||||
| 采樣追加模式(※1) | 端面、弧形、長方形 | |||||||||
| 晶圓排片(※2) | 對圓環形、固定半徑、端面采樣模式有追加項 | |||||||||
| 吸取式采樣 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
| 親水面采樣 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
| 外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
| 重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
| 安裝環境 | 無塵通風柜內 | |||||||||
| 所需外部資源 | 電源(100～240VAC)、 純凈水、干潔氣源 | 電源(100～240VAC)、 N2、干潔氣源 | 電源(100～240VAC)、 純凈水、N2、干潔氣源 | |||||||
※1，2: 追加項目需要另外計費，另外，對于親水狀態的晶圓，不能進行端面采樣，謹請諒解。
※3：配置電腦需要另外計費。
