日本tekhne SF6氣體純度露點儀MBW973-SF6產品技術

日本tekhne SF6氣體純度露點儀MBW973-SF6

特征

• 抽查 
• SF6氣體露點管理
• 氣體變壓器/氣體斷路器
• 氣體絕緣開關
• 半導體和液晶面板的干法蝕刻工藝
• SF6氣體回收與再循環

主要用途

• SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點測量

環保測量儀

SF6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標是由《京都議定書》設定的，據說其溫室效應約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器/變壓器和半導體工藝中用作絕緣氣體，因此必須測量水分和SF6純度以保持其絕緣性。
另一方面，到目前為止，在日本，測量時通常將其釋放到大氣中，或者不釋放而以高成本進行收集和分解。通過使用MBW973-SF6，可以將測得的SF6氣體返回到原始設備而不會釋放到大氣中，并且可以將向大氣中的釋放減少到零。

高精度測量

迄今為止，由于電容類型易于獲取，因此通常被使用。另一方面，MBW973-SF6的露點和純度測量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°C和0.5％的精度進行高精度測量，響應速度快，隨時間的推移幾乎沒有劣化。是。通過使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時間，并且可以容易地進行可靠的測量。

SO 2測量選項

SF6氣體通過與水反應來凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測量0至100ppm或0至500ppm范圍內的SO 2。該傳感器使用電化學電池，可以滿量程±2％的精度進行測量。