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        日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500

        發布時間:2020-11-20 點擊量:1839

        日本東麗toray半導體,電子元件氧氣分析儀MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

        氧氣表MS-500

        • 多可以同時測量8個點
        • 可以顯示從ppm級到100%的多種濃度。
        • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
        • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
        • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

        MS-500設備規格

        測量原理

        氧化鋯輕型電池

        形狀

        分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

        顯示方式

        4位數字顯示(密度顯示)

        測量范圍

        0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
        自動范圍

        重復性

        在±0.5%FS 0-1%范圍內或更高
        ±1%FS以下或≤±
        0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度

        測量點數

        1-8

        樣氣條件

        壓力

        10 -3至200 KPa(壓力)

         

        流量

        0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態的測量)

         

        濕度

        露點低于環境溫度

         

        溫度

        0-100℃

         

        其他

        不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

        比較氣

        大氣層

        記錄儀輸出

        僅變速箱輸出

        變速箱輸出

        RS-232C

        報警輸出

        沒有

        熱身時間

        6分鐘以內

        尺寸

        MS-500(控制器)

        92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

         

        MS-510(轉換器)

        100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

         

        傳感器單元

        SD16NW

        總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

         

         

        SD25NW

        總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

         

         

        SD40NW

        總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

        大眾

        MS-500(控制器)

        約0.6Kg

         

        MS-510(轉換器)

        約0.5kg

         

        傳感器單元

        SD16NW

        約0.2Kg

         

         

        SD25NW

        約0.2Kg

         

         

        SD40NW

        約0.35Kg

        外部連接

        真空法蘭之一(NW16、25、40)

        使用電源

        24VDC±10%

        氧氣計LC-450A,LC-450D


        • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
        • 改進的傳感器耐用性
          氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
        • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
          * LC-450D由24V DC驅動
        • 緊湊且易于安裝
          深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
        • 符合RoHS的產品
        • CE標志自我聲明產品
          EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

        LC-450A設備規格

        測量原理

        氧化鋯輕型電池

        形狀

        桌面型/面板安裝型

        顯示方式

        4位數字顯示(密度顯示)

        測量范圍

        0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍

        重復性

        在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

        取樣方式

        內置泵的連續吸入型

        樣氣條件

        壓力

        加壓30 KPa以下

         

        流量

        1,000-2,000毫升/分鐘

         

        濕度

        露點低于環境溫度

         

        溫度

        0-50℃

         

        其他

        不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

        比較氣

        大氣層

        記錄儀
        輸出

        氧氣濃度輸出

        在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負載電阻550Ω或更小
        記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

         

        輸出范圍

        0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍

        變速箱輸出

        RS-232C

        報警輸出

        失敗(設備錯誤)

        1分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
        設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)

         

        ALM(濃度警報)

        2點(H / L)

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
        發生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)

         

        RDY(預熱信號)

        1分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

        · 無電壓觸點的小開關容量為12V或更高,并且無法承受微小的負載。

         

        MRK(范圍標記)輸出

        2分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

        熱身時間

        5分鐘以內

        尺寸

        身體

        210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)

        大眾

        約6kg

        氣體
        連接口

        進口

        Rc1 / 4

         

        旁路輸出

        Rc1 / 4

         

        出口

        Rc1 / 4

        使用電源

        100-240VAC,50VA(穩定:35VA)50Hz / 60Hz

        LC-450D設備規格

        測量原理

        氧化鋯輕型電池

        形狀

        桌面型/面板安裝型

        顯示方式

        4位數字顯示(密度顯示)

        測量范圍

        0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍

        重復性

        在±1%FS 0-1ppm之內,大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

        取樣方式

        內置泵的連續吸入型

        樣氣條件

        壓力

        加壓30 KPa以下

         

        流量

        ?1,500L /分鐘

         

        濕度

        露點低于環境溫度

         

        溫度

        0-50℃

         

        其他

        不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

        比較氣

        大氣層

        記錄儀
        輸出

        氧氣濃度輸出

        0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高
        (選件:4-20mA DC,絕緣,負載電阻550Ω或更低)
        記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

         

        輸出范圍

        0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍

        變速箱輸出

        RS-232C

        報警輸出

        失敗(設備錯誤)

        1分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
        設備異常導致接點閉合(可以更改接點操作)

         

        ALM(濃度警報)

        2點(L / LL)

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
        發生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)

         

        RDY(預熱信號)

        1分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
        在預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)

        · 非電壓觸點的小開關容量為12V或20mA或更高,并且無法承受微小的負載。

         

        MRK(范圍標記)輸出

        2分

        非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下

        熱身時間

        5分鐘以內

        尺寸

        身體

        240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)

        大眾

        約5kg

        氣體
        連接口

        進口

        Rc1 / 8

         

        旁路輸出

        Rc1 / 8

         

        出口

        Rc1 / 8

        使用電源

        24VDC±10%,1.25A(30VA,穩態)

        氧氣計LC-860

        LC-860

        • 低濃度測量
          可以測量ppb到100%
        • 操作簡便
          按功能可輕松操作
        • 吹掃功能
          比較氣體更穩定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規格)
        • 高可靠性傳感器傳感器
          內部還可以進行防劣化處理(可選)

        LC-860設備規格

        測量原理氧化鋯輕型電池
        形狀桌面型/面板安裝型
        顯示方式6位數字顯示(密度顯示)
        測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
        自動/固定范圍
        重復性
        氧氣濃度在±1%FS之內且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
        取樣方式內置泵的連續吸入型
        樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
        流量?1,500mL /分鐘
        濕度露點低于環境溫度
        溫度0-50℃
        其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
        比較氣大氣層
        記錄儀
        輸出
        氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
        :絕緣,負載電阻為600Ω或更低
        0-10V:絕緣,負載電阻為500Ω或更高
        記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
        輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍
        變速箱輸出RS-232C
        報警輸出失敗(設備錯誤)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
        由于設備異常,觸點閉合(可以更改觸點操作)
        ALM(濃度警報)2分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
        發生警報時觸點閉合(可以更改觸點操作)
        RDY(預熱信號)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小
        預熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
        • 無電壓觸點的小開關容量為12V或更高,并且不能承受微小的負載。
        MRK(范圍標記)輸出3分非電壓接點,接點容量24VDC / AC以下,0.1A以下
        熱身時間20分鐘以內
        尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
        大眾約10kg
        氣體
        連接口
        進口Rc1 / 8
        旁路輸出Rc1 / 8
        出口Rc1 / 4
        使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的
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