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        氧氣分析儀在半導體/液晶/電子元器件等領域的相關應用

        發布時間:2020-10-16 點擊量:1766

        日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

        氧氣表MS-500

        • 多可以同時測量8個點
        • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
        • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
        • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
        • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

        MS-500設備規格

        測量原理

        氧化鋯輕型電池

        形狀

        分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

        顯示方式

        4位數字顯示(密度顯示)

        測量范圍

        0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
        自動范圍

        重復性

        在±0.5%FS 0-1%范圍內或以上
        ±1%FS以下或≤±
        0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度范圍

        測量點數

        1-8

        樣氣條件

        壓力

        10 -3至200 KPa(壓力)

        流量

        0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態的測量)

        濕度

        露點低于環境溫度

        溫度

        0-100℃

        其他

        不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

        比較氣

        大氣層

        記錄儀輸出

        僅變速箱輸出

        變速箱輸出

        RS-232C

        報警輸出

        沒有

        熱身時間

        6分鐘以內

        尺寸

        MS-500(控制器)

        92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

        MS-510(轉換器)

        100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

        傳感器單元

        SD16NW

        總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

        SD25NW

        總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

        SD40NW

        總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

        大眾

        MS-500(控制器)

        約0.6Kg

        MS-510(轉換器)

        約0.5kg

        傳感器單元

        SD16NW

        約0.2Kg

        SD25NW

        約0.2Kg

        SD40NW

        約0.35Kg

        外部連接

        真空法蘭之一(NW16、25、40)

        使用電源

        24VDC±10%

         

        氧氣計LC-450A,LC-450D

        LC-450A,LC-450D


        • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
        • 改進的傳感器耐用性
          氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
        • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
          * LC-450D由24V DC驅動
        • 緊湊且易于安裝
          深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
        • 符合RoHS的產品
        • CE標志自我聲明產品
          EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

        氧氣計LC-860

        LC-860

        • 低濃度測量
          可以測量ppb到100%
        • 操作簡便
          按功能可輕松操作
        • 吹掃功能
          比較氣體更穩定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規格)
        • 高可靠性傳感器傳感器
          內部還可以進行防劣化處理(可選)

         

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